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“分析仪器”包含所有需要在真空环境下进行分析的所有应用，如电子显微镜利用真空环境下不同粒子的散射成像对物质表面微区形貌进行分析，气相色谱质谱仪利用真空环境不同核质比粒子质谱图对物质的种类进行分析，氦质谱检漏仪利用氦气在真空环境下离子信号对漏率大小进行测定，在表面科学、材料分析、环境分析中也有着广泛的应用。